据韩媒报道，传SK海力士近期对荷兰设备生产商ASML下单1台DRAM量产用EUV设备，预定投入2020年下半新完工的利川M16工厂中EUV专用产线。目前SK海力士已有至少2台研发用EUV设备。目前EUV设备可说是晶圆代工业者的专属产品，ASML只有两家主要客户，分别是台积电与三星，将机台用在生产中央处理器(CPU)、应用处理器(AP)等系统半导体领域。三星从2019年4月开始以7纳米制程EUV进行量产；台积电最近也宣布以名为N7+的7纳米EUV制程进行量产。面对5G移动通信发展带动超小型、高性能的存储器需求成长，SK海力士与三星有意利用EUV设备量产DRAM。因为制程越是精细，一片晶圆上可生产的半导体数量愈多，性能也可提高。
近期，SK海力士宣布已经成功研发出第三代10nm级（1Z）DRAM，且该产品较上一代1Y产品生产效率提高了约27%，而且无需极紫外光曝光工艺也可以生产。然而，对于制程复杂微细、需要重叠显影的生产制程，EUV可以显著简化生产过程、缩短生产时间，因此长期来看仍然是值得投资的。ASML在2019年10月中旬召开的第3季(7~9月)法说会中表示，客户有强劲DARM用EUV设备需求，将尽全力达成客户目标；2020年总计将生产35台EUV设备(包含DRAM产线机种)。业界推测ASML提到的客户就是三星与SK海力士。据了解，三星日前也对ASML下了DRAM产线用EUV设备订单。
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由 dawei
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